電子製程 網路課程- 半導體製程介紹

《更多課程》http://www.ssi.org.tw

《課程大綱》

1      I.C. Fabrication overview (I.C. 製造整體觀)

2      Thermal Oxidation  (熱氧化製程)

3      Diffusion (擴散製程)

4      Ion Implantation (離子植入製程)

5      Chemical Vapor Deposition (化學氣相沉積製程)

6      Etching (蝕刻製程)

7      Lithography (微影技術製程)

8      Metallization and Interconnection (金屬導線與連接)

9      Planarization & CMP process (平坦化製程)

10     Device and Circuit Fabrication (元件與線路製造)